FU.952故障代码出现中智电气伺服驱动器上，表示反向超程警告。反向超程警告的主要原因如下：

1、DI功能15：禁止正向驱动，端子逻辑有效

处理办法如下：

1、检查P03组DI端子是否设置了DI功能15；查看输入信号监视(P0B-03)对应位的DI端子逻辑是否有效；检查运行模式，确定安全的前提下，给负向指令或转动电机，使“反向超程开关”端子逻辑变为无效。